D664-4747MOOG伺服閥工作原理:
閥開啟過程：DEH控制器發出閥位開啟指令，通過電磁線圈作用，將擋板轉動，擋板移近左邊噴嘴時，該噴嘴的泄油面積減小，使流量減小，噴嘴前的油壓P1升高；與此同時右邊噴嘴與擋板的距離增大流量增加，噴嘴前的油壓P2降低。由于擋板兩側噴嘴前的油壓與下部滑閥的端部油室是相通的，當兩只噴嘴前的油壓不相等時，則滑閥兩端的油壓P1、P2也不相等，P1>P2，差壓導致滑閥5向右邊移動，使滑閥凸肩所控制的油口開大，P4壓力油進入P5中，P5與油動機活塞下部相連，增大油動機進油量，使油動機活塞上升，開大汽閥。
汽閥關閉過程：在DEH控制器發出閥位關閉指令，通過電磁作用，將擋板轉動，擋板移近右邊噴嘴時，該噴嘴的泄油面積減小，使流量減小噴嘴前的油壓P2升高；與此同時右邊噴嘴與擋板的距離增大流量增加，噴嘴前的油壓P1降低。由于擋板兩側噴嘴前的油壓與下部滑閥的端部油室是相通的，當兩只噴嘴前的油壓不相等時，則滑閥兩端的油壓P1、P2也不相等，P2>P1，差壓導致滑閥5向左邊移動，使滑閥凸肩所控制的油口開大，P5油動機下腔油排掉進入P7有壓回油中，使油動機活塞下降，關小汽閥。活塞下部相連，增大油動機進油量，使油動機活塞上升，開大汽閥。
典型的伺服閥由永磁力矩馬達、噴嘴、檔板、閥芯、閥套和控制腔組成(見圖)。當輸入線圈通入電流時，檔板向右移動，使右邊噴嘴的節流作用加強，流量減少，右側背壓上升;同時使左邊噴嘴節流作用減小，流量增加，左側背壓下降。閥芯兩端的作用力失去平衡, 閥芯遂向左移動。高壓油從S流向C2，送到負載。負載回油通過 C1流過回油口，進入油箱。閥芯的位移量與力矩馬達的輸入電流成正比，作用在閥芯上的液壓力與彈簧力相平衡，因此在平衡狀態下力矩馬達的差動電流與閥芯的位移成正比。如果輸入的電流反向，則流量也反向。表中是伺服閥的分類。
伺服閥主要用在電氣液壓伺服系統中作為執行元件(見液壓伺服系統)。在伺服系統中，液壓執行機構同電氣及氣動執行機構相比，具有快速性好、單位重量輸出功率大、傳動平穩、抗干擾能力強等特點。另一方面，在伺服系統中傳遞信號和校正特性時多用電氣元件。因此，現代高性能的伺服系統也都采用電液方式，伺服閥就是這種系統的必需元件。
伺服閥結構比較復雜，造價高，對油的質量和清潔度要求高。新型的伺服閥正試圖克服這些缺點，例如利用電致伸縮元件的伺服閥，使結構大為簡化。另一個方向是研制特殊的工作油(如電氣粘性油)。這種工作油能在電磁的作用下改變粘性系數。利用這一性質就可通過電信號直接控制油流。
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